Attribution-NonCommercial 4.0 International (CC BY-NC 4.0)Plata Gómez, ArturoMendoza Luna, Carolina2024-03-0320162024-03-0320162016https://noesis.uis.edu.co/handle/20.500.14071/35519Los últimos avances en el área de la nanociencia y nanotecnología conllevan al crecimiento del interés de los científicos en el estudio de diferentes fenómenos físicos que se presentan a escala nanométrica, en el área de la óptica se han presentado grandes desarrollos tanto teóricos como experimentales a partir del estudio de la interacción de la luz con estructuras fabricadas a escalas cada vez más pequeñas, como ejemplo de esto se encuentra el estudio de cavidades resonantes, antenas ópticas, diseño de estructuras difractivas, microscopia de campo cercano, óptica no lineal, entre otras. Estos avances son consecuencia de las nuevas habilidades para medir, fabricar y manipular estructuras a escala nanométrica. Debido a que la fabricación es una etapa importante para el estudio experimental de estos fenómenos se desea explorar el uso de la técnica de nanolitografía por oxidación local usando un microscopio de fuerza atómica. En este trabajo se implementa la técnica de nanolitografía de oxidación local por AFM para la fabricación de estructuras periódicas difractivas con dimensiones y geometría controlables; con este fin se estudia la dependencia de las dimensiones del óxido con dos parámetros experimentales influyentes para la implementación de esta técnica de litografía, voltaje aplicado y velocidad de barrido; la siguiente etapa en la fabricación de la estructura difractiva incluye la caracterización morfológica de la estructura construida mediante técnicas de microscopia de alta resolución. Finalmente, se realiza un montaje óptico que permite obtener el patrón de difracción de las estructuras fabricadas.application/pdfspahttp://creativecommons.org/licenses/by/4.0/Nanolitografía Por Oxidación Local AnódicaMicroscopia De Fuerza AtómicaRejilla De DifracciónUniversidad Industrial de SantanderTesis/Trabajo de grado - Monografía - MaestriaUniversidad Industrial de Santanderhttps://noesis.uis.edu.coThe last advances in nanoscience and nanotechnology leads to an increase of the interest of the researchers in the study of the different physical phenomena that occur at the nanoscalein the area of optics great development has been madeboth theoretical and experimentalbased on the study of the interaction of light with structures which dimensions are increasingly smaller; resonant cavitiesoptical antennasdiffractive structuresnear field microscopynon-lineal opticsetc. are examples of these advances. This is allowed by the new abilities to measurefabricate and manipulate structures at nanometric scale. Because fabrication is an important step in the experimental study of this phenomena is important to explore the use of the local oxidation nanolithography technique by Atomic Force Microscopy. In this work the local oxidation nanolithography technique is implemented using an Atomic Force Microscope for the fabrication of periodic diffractive structures with controllable dimensions and geometry; for this purpose the dependence of oxide dimensions with two experimental parameters is studiedthis two influential parameters are the applied bias and scanning speed. Next step in diffractive structure fabrication includes morphological characterization using high resolution microscopy techniques. Finallyan optical setup is realized allowing to obtain the diffraction pattern of the periodic structures fabricated.info:eu-repo/semantics/openAccessAtribución-NoComercial-SinDerivadas 4.0 Internacional (CC BY-NC-ND 4.0)