Estudio experimental de la resistencia a la corrosión de sustratos de silicio modificados superficialmente con iones de titanio y nitruro de titanio

Coronado Quijano, Jorge Armando; González Acevedo, Jesús Eduardo

Publicación:
Estudio experimental de la resistencia a la corrosión de sustratos de silicio modificados superficialmente con iones de titanio y nitruro de titanio

dc.contributor.advisor	Peña Ballesteros, Darío Yesid
dc.contributor.advisor	Valbuena Niño, Ely Dannier
dc.contributor.author	Coronado Quijano, Jorge Armando
dc.contributor.author	González Acevedo, Jesús Eduardo
dc.date.accessioned	2024-03-03T20:41:55Z
dc.date.available	2014
dc.date.available	2024-03-03T20:41:55Z
dc.date.created	2014
dc.date.issued	2014
dc.description.abstract	La razón de la creciente demanda que tiene el silicio hasta nuestros días, no solo es debida a sus propiedades electrónicas, sino también a sus excelentes propiedades mecánicas, térmicas y magnéticas. Se han realizado estudios de este material en aplicaciones tecnológicas, principalmente en la industria microelectrónica como material básico para la producción de chips que se pueden implantar en transistores y pilas solares. Por lo tanto, es de vital importancia investigar acerca del mecanismo de degradación, para así alargar la vida útil de la tecnología fabricada con este material. Es por ello que el Grupo de Investigación en Física y Tecnología del Plasma (FITEK) junto con el Grupo de Investigación en Corrosión (GIC) de la Universidad Industrial de Santander (UIS), se encuentran desarrollando una nueva tecnología de modificación superficial de sólidos mediante descargas pulsadas de alto voltaje y de arco eléctrico a bajas presiones, realizada en el reactor MOSMET (Modificación Superficial de Metales). La presente investigación busca mediante ensayos electroquímicos: Rp (Resistencia la Polarización), EIS (Espectroscopía de Impedancia Electroquímica) y Tafel. Técnicas de caracterización: Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) y Difracción de Rayos X (DRX), evaluar el desempeño de las superficies de sustratos de silicio no modificadas y modificadas con iones de especies metálicas (titanio) y no metálicas (nitrógeno). Los resultados obtenidos, indican que las muestras de silicio implantadas a 10 minutos con titanio en la posición 12 (P12Ti10m), luego de estar en inmersión, presentan una menor velocidad de corrosión en comparación con las demás muestras implantadas. De acuerdo al análisis estadístico no es un resultado relevante, debido a que no se hicieron repeticiones. En el análisis SEM y EDS se evidenció la presencia de especies iónicas de Ti y TiN, defectos superficiales e impurezas de otros elementos químicos que influyeron en la superficie de las muestras.
dc.description.abstractenglish	The reason for the growing demand for silicon has until today, is not only due to their electronic properties but also excellent mechanical, thermal and magnetic properties. It has a special interest in the microelectronics industry as basic material for the creation of chips that can be implanted in transistors, solar cells. For this reason it is vital research the mechanism of degradation, thereby extend the useful life of the technology made with this material. This is why the Research Group in Physics and Plasma Technology (FITEK) together with the Research Group on Corrosion (GIC) from the Industrial University of Santander (UIS), are developing a new technology for surface modification of solids by pulsed high voltage and low pressure electric arc downloads, made in the reactor MOSMET (Surface Modification of Metals). This research look by electrochemical tests: Polarization Resistance (Rp), Electrochemical Impedance Spectroscopy (EIS) and Tafel. Scanning Electron Microscopy (SEM) and X-Ray Diffraction (DRX), evaluate the performance of the surfaces for silicon substrates unmodified and modified with metal ion species (Titanium) and not metallic (nitrogen). The results indicate that the silicon samples implanted with titanium within 10 minutes at position 12 (P12Ti10m), after being submerged have a lower corrosion rate compared to other implanted samples. According to the statistical analysis is not an important result, because no repetitions are made. By SEM and EDS analysis, the presence of Ti and TiN ionic species, surface defects and impurities of other chemical elements that influenced the surface of the samples was demonstrated.
dc.description.degreelevel	Pregrado
dc.description.degreename	Ingeniero Metalúrgico
dc.format.mimetype	application/pdf
dc.identifier.instname	Universidad Industrial de Santander
dc.identifier.reponame	Universidad Industrial de Santander
dc.identifier.repourl	https://noesis.uis.edu.co
dc.identifier.uri	https://noesis.uis.edu.co/handle/20.500.14071/30482
dc.language.iso	spa
dc.publisher	Universidad Industrial de Santander
dc.publisher.faculty	Facultad de Ingenierías Fisicoquímicas
dc.publisher.program	Ingeniería Metalúrgica
dc.publisher.school	Escuela de Ingeniería Metalúrgica y Ciencia de Materiales
dc.rights	http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
dc.rights.accessrights	info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.creativecommons	Atribución-NoComercial-SinDerivadas 4.0 Internacional (CC BY-NC-ND 4.0)
dc.rights.license	Attribution-NonCommercial 4.0 International (CC BY-NC 4.0)
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0
dc.subject	Sustratos De Silicio
dc.subject	Modificación Superficial
dc.subject	Productos De Corrosión
dc.subject	Técnicas Electroquímicas
dc.subject	Difracción De Rayos X
dc.subject	Microscopía Electrónica De Barrido.
dc.subject.keyword	Silicon Substrates
dc.subject.keyword	Surface Modifier
dc.subject.keyword	Corrosion Products
dc.subject.keyword	Electrochemical Techniques
dc.subject.keyword	X Ray Diffraction
dc.subject.keyword	Scanning Electron Microscopy.
dc.title	Estudio experimental de la resistencia a la corrosión de sustratos de silicio modificados superficialmente con iones de titanio y nitruro de titanio
dc.title.english	Experimental study of the corrosion resistance of silicon substrates surface modified by titanium and titanium nitride ions.
dc.type.coar	http://purl.org/coar/version/c_b1a7d7d4d402bcce
dc.type.hasversion	http://purl.org/coar/resource_type/c_7a1f
dc.type.local	Tesis/Trabajo de grado - Monografía - Pregrado
dspace.entity.type	Publication