Estudio del comportamiento de la corriente hall en un magnetrón sputtering con cátodo equipotencial y no equipotencial

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dc.contributor.advisorTsygankov, Petr Anatolievich
dc.contributor.advisorLopez Duran, Jesus Eduardo
dc.contributor.authorCárdenas Ayala, Paula Andrea
dc.date.accessioned2024-03-04T00:40:01Z
dc.date.available2020
dc.date.available2024-03-04T00:40:01Z
dc.date.created2020
dc.date.issued2020
dc.description.abstractUno de los mecanismos más populares utilizados en la deposición de películas delgadas para el tratamiento de superficies es la pulverización catódica con magnetrón, donde la descarga se da en campos magnéticos y eléctricos cruzados. Los procesos físicos asociados con la generación y el mantenimiento de la descarga en este sistema son complejos y aún no se han explicado desde un punto de vista teórico. La corriente Hall juega un papel importante en la formación de la estructura de la descarga de magnetrón. Para estudiar el efecto de la corriente, en este trabajo, se propone un diseño de anillo de magnetrón, que permitirá medir la corriente experimentalmente para confirmar la simulación numérica de los procesos, este esquema permite medir la corriente Hall mediante transformadores de corriente externos. Se propone el estudio computacional de la descarga en un magnetrón sputtering con cátodo no equipotencial a partir de la simulación numérica de la dinámica electrónica en la aproximación de partículas simple, bajo la influencia del campo magnético y el campo electrostático. Estos campos se obtendrán utilizando el software COMSOL Multiphysics®. La dinámica de las partículas se obtendrá a través de la solución numérica de la ecuación de Newton-Lorentz. Los métodos desarrollados en este documento se pueden usar para analizar sistemas avanzados modernos como magnetrones con cátodos no equipotenciales.
dc.description.abstractenglishOne of the most popular mechanisms used in the deposition of thin films for surface treatment is magnetron sputtering where the discharge occurs in crossed electric and magnetic fields. The physical processes associated with the generating and maintaining discharge in this system are complex and have not yet been explained from a theoretical point of view. The Hall current plays an important role in the formation of the magnetron discharge structure. In order to study the effects of current, in this work, a magnetron ring design is proposed, this will allow the current to be measured experimentally to confirm the numerical simulation of the processes. This scheme allows the Hall current to be measured using external current transformers. The computational study of the discharge in a sputtering magnetron with a non-equipotential cathode is proposed from the numerical simulation of electronic dynamics in the simple particle approximation, under the influence of the magnetic field and the electrostatic field. These fields will be obtained using the COMSOL Multiphysics® software. The dynamics of the particles will be obtained through the numerical solution of the Newton-Lorentz equation. The methods developed in this document can be used to analyze modern advanced systems such as magnetrons with non-equipotential cathodes.
dc.description.degreelevelPregrado
dc.description.degreenameFísico
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier.instnameUniversidad Industrial de Santander
dc.identifier.reponameUniversidad Industrial de Santander
dc.identifier.repourlhttps://noesis.uis.edu.co
dc.identifier.urihttps://noesis.uis.edu.co/handle/20.500.14071/39732
dc.language.isospa
dc.publisherUniversidad Industrial de Santander
dc.publisher.facultyFacultad de Ciencias
dc.publisher.programFísica
dc.publisher.schoolEscuela de Física
dc.rightshttp://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
dc.rights.accessrightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.creativecommonsAtribución-NoComercial-SinDerivadas 4.0 Internacional (CC BY-NC-ND 4.0)
dc.rights.licenseAttribution-NonCommercial 4.0 International (CC BY-NC 4.0)
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0
dc.subjectPlasma
dc.subjectCorriente Hall
dc.subjectMagnetrón Sputtering.
dc.subject.keywordPlasma Physics
dc.subject.keywordHall current
dc.subject.keywordMagnetron Sputtering
dc.titleEstudio del comportamiento de la corriente hall en un magnetrón sputtering con cátodo equipotencial y no equipotencial
dc.title.englishStudy of the behavior of the hall current in a sputtering magnetron with equipotential and non-equipotential cathode
dc.type.coarhttp://purl.org/coar/version/c_b1a7d7d4d402bcce
dc.type.hasversionhttp://purl.org/coar/resource_type/c_7a1f
dc.type.localTesis/Trabajo de grado - Monografía - Pregrado
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