Diseño del sistema de control de equipo para tratamiento de materiales por plasma

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dc.contributor.advisorTsygankov, Petr Anatolievich
dc.contributor.advisorRodríguez Ferreira, Julián Gustavo
dc.contributor.authorBermúdez Montaña, Esgar Armando
dc.date.accessioned2024-03-04T01:16:57Z
dc.date.available2021
dc.date.available2024-03-04T01:16:57Z
dc.date.created2021
dc.date.issued2021
dc.description.abstractEl sistema está diseñado para obtener un alto vacío residual (menos de 10 [mPa]) en la cámara de trabajo con un volumen de 0,3 [m^3] y mantener la presión de funcionamiento en el rango de 0,1400 [Pa] con atmósfera de mezcla de gases controlada. El esquema se basa en un sistema de bombeo de dos etapas que utiliza dos bombas conectadas en serie, en la primera etapa se cuenta con una bomba rotativa de prevacío HBP16 que crea un vacío profundo de hasta 7 [Pa], luego una bomba turbo molecular de alto vacío tipo 01AB150004 que logra llevar la presión al orden de 10e4 [Pa]. Se utiliza una línea de bombeo de «bypass» para facilitar el funcionamiento y la posibilidad de abrir y servir la cámara. Se cuenta con un sistema para el suministro de gases en la cámara de trabajo, el cual es regulado con unas válvulas piezoeléctricas y se tiene un mezclador de dos canales que permite trabajar con una mezcla de dos gases o cambiar el gas de trabajo sin interrumpir el proceso de tratamiento de la muestra. El equipo tiene un sistema de generación de pulsos de alto voltaje de forma cercana a la rectangular con una variación en su amplitud de 5, 10, 20, 30, 40,50 y 60 [kV]. Su frecuencia de repetición de pulsos está en el rango de 160 [Hz] y la duración de los pulsos pueden variar entre 80 [us] hasta 2500 [us]. Este sistema de operación y control consta de 3 secciones, una para el control del sistema de vacío, otra para el control de flujo de gas y una última que permite monitorear parámetros de la descarga
dc.description.abstractenglishThe system is designed to obtain a high residual vacuum (less than 10 [mPa]) in the working chamber with a volume of 0.3 [m ^ 3] and keep the operating pressure in the range of 0.1400 [Pa] with controlled gas mixture atmosphere. The scheme is based on a twostage pumping system that uses two pumps connected in series, in the first stage there is a HBP16 rotary prevacuum pump that creates a deep vacuum of up to 7 [Pa], then a high vacuum turbo molecular pump type 01AB150004 that manages to bring the pressure to the order of 10e4 [Pa]. A "bypass" pump line is used to facilitate operation and the ability to open and serve the chamber. There is a system for supplying gases in the working chamber, which is regulated with piezoelectrics valves and there is a twochannel mixer that allows working with a mixture of two gases or changing the working gas without interrupting the sample treatment process. The equipment has a system for generating high voltage pulses of a shape close to rectangular with a variation in its amplitude of 5, 10, 20, 30, 40, 50 and 60 [kV]. Its pulse repetition frequency is in the range of 160 [Hz] and the duration of the pulses can vary between 80 [us] up to 2500 [us]. This operation and control system consists of 3 sections, one for the control of the vacuum system, another for the control of gas flow and a last one that allows monitoring discharge parameters
dc.description.degreelevelPregrado
dc.description.degreenameIngeniero Electricista
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier.instnameUniversidad Industrial de Santander
dc.identifier.reponameUniversidad Industrial de Santander
dc.identifier.repourlhttps://noesis.uis.edu.co
dc.identifier.urihttps://noesis.uis.edu.co/handle/20.500.14071/41501
dc.language.isospa
dc.publisherUniversidad Industrial de Santander
dc.publisher.facultyFacultad de Ingenierías Fisicomecánicas
dc.publisher.programIngeniería Eléctrica
dc.publisher.schoolEscuela de Ingenierías Eléctrica, Electrónica y Telecomunicaciones
dc.rightshttp://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
dc.rights.accessrightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.creativecommonsAtribución-NoComercial-SinDerivadas 4.0 Internacional (CC BY-NC-ND 4.0)
dc.rights.licenseAttribution-NonCommercial 4.0 International (CC BY-NC 4.0)
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0
dc.subjectSistema de control
dc.subjectPlasma
dc.subjectAlto vacío
dc.subjectBombeo
dc.subjectFlujo de gas
dc.subjectdescarga eléctrica.
dc.subject.keywordControl System
dc.subject.keywordPlasma
dc.subject.keywordHigh Vacuum
dc.subject.keywordPumping
dc.subject.keywordGas Flow
dc.subject.keywordElectric Discharge.
dc.titleDiseño del sistema de control de equipo para tratamiento de materiales por plasma
dc.title.englishDesign of a control system for plasma material treatment equipment *
dc.type.coarhttp://purl.org/coar/version/c_b1a7d7d4d402bcce
dc.type.hasversionhttp://purl.org/coar/resource_type/c_7a1f
dc.type.localTesis/Trabajo de grado - Monografía - Pregrado
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