Publicación:

Desarrollo e implementación de un sistema de visionica para nanometrologia de materiales

Resumen

En este proyecto se muestra el proceso de desarrollo de un sistema conformado tanto por hardware como software para realizar estudios de muestras en materiales y medir distancias y alturas en la superficie del material a escala de nanómetros. La finalidad del proyecto es dar una herramienta a los investigadores para realizar medidas de gran precisión utilizando un microscopio interferométrico tipo Mirau, e implementando algoritmos de detección de máximos y de interferometria dinámica mediante una cámara CMOS ubicada en el microscopio a la vez que las muestras son desplazadas por un actuador piezo-eléctrico controlado mediante el software y la etapa de control electrónico desarrollada para este propósito, dicho software reconstruirá las imágenes adquiridas y creara una imagen topográfica en 3D de la superficie de la muestra sobre la cual se podrán realizar medidas. Se describe la metodología usada desde la recolección de los requisitos de diseño del hardware, y los de software hasta su desarrollo, comunicación de las partes, implementación, y puesta en marcha del sistema completo. Finalmente el sistema se deja abierto a nuevos desarrollos como la conexión de un nuevo actuador piezo-eléctrico a la etapa de control electrónico para realizar perfilometria basada en algoritmos de phase-shifting ya que el sistema fue diseñado para su posterior evolución, y migración hacia varios equipos de computo de aquí, que la comunicación entre sus componentes son por bus de datos USB.