Reconstrucción topográfica mediante microscopía por interferencia de luz blanca analizada en los espacios cromáticos.

Abstract

La interferometría de luz blanca ha sido ampliamente utilizada para la caracterización de superficies topográficas debido a la ventaja de ser una técnica sin contacto y alta resolución. Sin embargo, presenta limitaciones al momento de determinar el contacto óptico de las señales de interferencia. El objetivo del presente trabajo de investigación es desarrollar y comprobar un método para la detección de la franja de máxima correlación en el interferograma haciendo uso de los espacios cromáticos CIEXY Z, CIELab y CIELuv. Para ello se empleó un sistema de captura de imágenes mediante una cámara digital, generando franjas de interferencia a partir de un objetivo de microscopio tipo Mirau; mientras que el desplazamiento axial del sistema se efectuó con un actuador piezoeléctrico. Las imágenes capturadas se procesaron en Matlab, aplicando el modelo teórico desarrollado. Los resultados demuestran la posibilidad de reconstruir superficies topográficas empleando los espacios cromáticos mencionados, obteniendo superficies similares, respaldadas por altos coeficientes de correlación. Además, la técnica propuesta demuestra robustez frente a la saturación en los canales RGB, permitiendo la reconstrucción topográfica mientras reduce el ruido de la señal.