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Fabricación de una estructura metálica periódica difractiva usando la técnica de nanolitografia de oxidación local por microscopia de fuerza atómica (afm)

Resumen

Los últimos avances en el área de la nanociencia y nanotecnología conllevan al crecimiento del interés de los científicos en el estudio de diferentes fenómenos físicos que se presentan a escala nanométrica, en el área de la óptica se han presentado grandes desarrollos tanto teóricos como experimentales a partir del estudio de la interacción de la luz con estructuras fabricadas a escalas cada vez más pequeñas, como ejemplo de esto se encuentra el estudio de cavidades resonantes, antenas ópticas, diseño de estructuras difractivas, microscopia de campo cercano, óptica no lineal, entre otras. Estos avances son consecuencia de las nuevas habilidades para medir, fabricar y manipular estructuras a escala nanométrica. Debido a que la fabricación es una etapa importante para el estudio experimental de estos fenómenos se desea explorar el uso de la técnica de nanolitografía por oxidación local usando un microscopio de fuerza atómica. En este trabajo se implementa la técnica de nanolitografía de oxidación local por AFM para la fabricación de estructuras periódicas difractivas con dimensiones y geometría controlables; con este fin se estudia la dependencia de las dimensiones del óxido con dos parámetros experimentales influyentes para la implementación de esta técnica de litografía, voltaje aplicado y velocidad de barrido; la siguiente etapa en la fabricación de la estructura difractiva incluye la caracterización morfológica de la estructura construida mediante técnicas de microscopia de alta resolución. Finalmente, se realiza un montaje óptico que permite obtener el patrón de difracción de las estructuras fabricadas.