Metrología óptica en microscopia convencional, interperométrica y confocal cromática
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Date
2005
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Publisher
Universidad Industrial de Santander
Abstract
En este trabajo se presentan algunos métodos de metrología óptica en microscopíaconvencional de reflexión, microscopía interferométrica Mirau y microscopíaconfocal por aberración cromática longitudinal. En microscopía convencional dereflexión se presenta una técnica de caracterización de imágenes metalográficasusando procesamiento digital de imágenes en verdadero color. El proceso central es lasegmentación de la imagen tomando como criterio la combinación lineal de las trescomponentes de color RGB. Adicionalmente, se presenta una técnica óptico digitalpara determinar la dureza Vickers como parámetro de microdureza de materialesduros. En microscopía interferencial Mirau se presenta la fundamentación física sobre lacual se basan los principios de reconstrucción 3D de superficies y la medida deespesores en películas delgadas a escala nanométricas. Se hace énfasis en dos técnicasde reconstrucción tridimensional, una de ellas es la detección de máximos deintensidad con luz policromática y la otra es la técnica de corrimiento de fase con luzcuasi-monocromática. En microscopía confocal se presenta un sistema de reconstrucción 3D basado en elprincipio de multiplexado del foco dado por una lente difractiva de Fresnel. Latopografía de un objeto queda codificada en las componentes espectrales detectadasdesde el objeto. El sistema está compuesto por un sistema de iluminación novedoso,consistente en un supercontínuo generado por un efecto no lineal en fibra ópticamonomodo, un sistema de codificación de longitudes de onda - alturas y un sistemade detección. Para esta técnica también se presenta un método confocal para medir elíndice de refracción y espesores de membranas. En todas las anteriores técnicas sepresentan los resultados experimentales y sus perspectivas de trabajo
Description
Keywords
Espacios de Color, Dureza Vickers, Reconstrucción 3D, MicroscopíaInterferencial Mirau, Microscopía Confocal, Lente de Fresnel, Aberración Cromática.